微傳感器與接口集成電路設計

王高峰,程瑜華,吳麗翔著

  • 出版商: 科學出版
  • 出版日期: 2020-03-01
  • 售價: $588
  • 貴賓價: 9.5$559
  • 語言: 簡體中文
  • 頁數: 123
  • 裝訂: 精裝
  • ISBN: 7508856988
  • ISBN-13: 9787508856988

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商品描述

《微傳感器與接口集成電路設計》系統介紹了微傳感器及其接口集成電路的設計。
首先,以熱對流式加速度計、電容式加速度計、微機械陀螺儀、電容式麥克風、
壓電式超聲換能器等常見微傳感器為例,介紹了微傳感器的基本工作原理以及國內外研究現狀。
然後,介紹了將傳感物理量轉換為電信號的讀出電路,將所獲得的電信號進行放大、去噪、濾波等處理的信號調理電路,
將模擬信號轉換成數字信號的模數轉換電路,以及新型傳感器的自供能技術和電路等。
最後還介紹了微傳感器及其接口集成電路的新型封裝技術。

目錄大綱

目錄

前言
第1章緒論1
1.1微傳感器2
1.2微傳感器的接口集成電路3
參考文獻4

第2章微傳感器5
2.1熱對流式MEMS加速度計5
2.1.1基本工作原理5
2.1.2國內外研究現狀6
2.2 MEMS慣性傳感器9
2.2.1電容式加速度計9
2.2.2微機械陀螺儀11
2.3電容式MEMS麥克風13
2.3.1基本工作原理13
2.3.2國內外研究現狀13
2.4壓電式微機械超聲換能器15
2.4.1基本工作原理15
2.4.2國內外研究現狀16
參考文獻17

第3章微傳感器的讀出電路19
3.1熱對流式MEMS加速度計讀出電路19
3.2 MEMS慣性傳感器讀出電路22
3.3電容式MEMS麥克風讀出電路24
3.4壓電式微機械超聲換能器讀出電路27
參考文獻31

第4章信號調理電路33
4.1放大電路33
4.1.1儀用運算放大器34
4.1.2噪聲源36
4.1.3低噪聲放大器設計37
4.1.4降低失調和低頻噪聲的技術40
4.2濾波電路45
4.2.1濾波器的頻率特性和函數逼近45
4.2.2連續時間濾波器48
4.2.3開關電容濾波器51
4.3模數轉換電路55
4.3 .1模數轉換電路基本原理55
4.3.2模數轉換電路主要性能指標56
4.3.3常用的模數轉換器類型60
4.3.4逐次逼近型模數轉換電路典型結構64
4.3.5低功耗逐次逼近型模數轉換器67
參考文獻73

第5章自供能技術及其電路設計75
5.1自供能技術76
5.1.1能量採集技術76
5.1.2無線能量傳輸技術80
5.2整流電路83
5.2.1簡單整流電路84
5.2.2極低輸入電壓整流電路87
5.3穩壓電路92
5.3.1模擬線性穩壓電路92
5.3.2數字線性穩壓電路99
5.3.3開關穩壓電路99
5.3.4開關穩壓電路和線性穩壓電路的級聯103
參考文獻104

第6章微傳感器封裝106
6.1 SoC和SiP 106
6.2三維封裝技術112
6.2.1晶圓減薄技術112
6.2.2矽通孔技術115
6.2.3微凸點鍵合技術117
6.3 MEMS封裝118
6.3.1 MEMS封裝的特殊性118
6.3.2晶圓級MEMS封裝119
參考文獻122