Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5 of Modular Series on Solid State Devices Richard C. Jaeger
暫譯: 微電子製造入門：固態裝置模組系列第五卷 Richard C. Jaeger

Richard C. Jaeger

Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5 of Modular Series on Solid State Devices Richard C. Jaeger
  • 出版商: Prentice Hall
  • 出版日期: 2001-10-17
  • 售價: $820
  • 貴賓價: 9.8 折 $804
  • 語言: 英文
  • 頁數: 336
  • 裝訂: Paperback
  • ISBN: 0201444941
  • ISBN-13: 9780201444940

    • 已絕版

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商品描述

For courses in Theory and Fabrication of Integrated Circuits.

The author's goal in writing this text was to present a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted exclusively to processing, and is highlighted by careful explanations, clear, simple language, and numerous fully-solved example problems. This work assumes a minimal knowledge of integrated circuits and of terminal behavior of electronic components such as resistors, diodes, and MOS and bipolar transistors.

Table of Contents

Preface.
1. An Overview of Microelectronic Fabrication.
2. Lithography.
3. Thermal Oxidation of Silicon.
4. Diffusion.
5. Ion Implantation.
6. Film Deposition.
7. Interconnections and Contacts.
8. Packaging and Yield.
9. MOS Process Integration.
10. Bipolar Process Integration.
11. Processes for Microelectromechanical Systems—MEMS.
Answers to Selected Problems.
Index.

商品描述(中文翻譯)

本書適用於集成電路的理論與製造課程。
作者撰寫本書的目標是提供該領域最新技術的簡明概述。本書專注於處理過程，並以細緻的解釋、清晰簡單的語言以及大量完整解答的範例問題為特色。本書假設讀者對集成電路及電子元件（如電阻器、二極體、MOS 和雙極性晶體管）的端點行為有基本的了解。

**目錄**
前言。
1. 微電子製造概述。
2. 光刻技術。
3. 矽的熱氧化。
4. 擴散。
5. 離子植入。
6. 薄膜沉積。
7. 互連與接觸。
8. 封裝與良率。
9. MOS 製程整合。
10. 雙極性製程整合。
11. 微機電系統（MEMS）的製程。
選擇題的答案。
索引。

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