Semiconductor Manufacturing Technology (Hardcover)
暫譯: 半導體製造技術 (精裝版)

Chue San Yoo

Semiconductor Manufacturing Technology (Hardcover)
  • 出版商: World Scientific Pub
  • 出版日期: 2008-02-01
  • 售價: $1,450
  • 貴賓價: 9.8 折 $1,421
  • 語言: 英文
  • 頁數: 470
  • 裝訂: Hardcover
  • ISBN: 9812568239
  • ISBN-13: 9789812568236
  • 相關分類: 半導體

    • 立即出貨 (庫存=1)

買這商品的人也買了...

相關主題

商品描述

This textbook contains all the materials that an engineer needs to know to start a career in the semiconductor industry. It also provides readers with essential background information for semiconductor research. It is written by a professional who has been working in the field for over two decades and teaching the material to university students for the past 15 years. It includes process knowledge from raw material preparation to the passivation of chips in a modular format.

Contents:

  • Building Blocks for Integrated Circuits;
  • Thermal Oxidation;
  • Gas Kinetics and Plasma Physics;
  • Chemical Vapor Deposition;
  • Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition and Etching;
  • Pattern Transfer: Photolithography;
  • Pattern Generation;
  • Doping Technology;
  • Metallization and Silicidation;
  • Planarization and CMP Technology;
  • Copper and Low-k.

商品描述(中文翻譯)

這本教科書包含了工程師在半導體產業開始職業生涯所需了解的所有材料。它還為讀者提供了半導體研究的基本背景資訊。該書由一位在該領域工作超過二十年的專業人士撰寫，並在過去十五年中教授這些材料給大學學生。內容涵蓋從原材料準備到晶片鈍化的過程知識，以模組化的格式呈現。

內容：


  • 集成電路的基本構件；

  • 熱氧化；

  • 氣體動力學與等離子體物理；

  • 化學氣相沉積；

  • 等離子體增強化學氣相沉積與蝕刻；

  • 圖案轉移：光刻；

  • 圖案生成；

  • 摻雜技術；

  • 金屬化與矽化；

  • 平坦化與CMP技術；

  • 銅與低k材料。

類似商品